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浅谈质量流量控制器出现流量偏差的排查方法

2021-09-29 07:55:02
本文关键字:质量流量控制器

  质量流量控制器这个仪表想必大家对它都有一些了解,之前也为大家介绍了仪表出现故障的原因以及解决方法。那这次小编为大家介绍下仪表测量时出现流量误差的排查方法。
 
  质量流量控制器是探测流量等的仪器,具有无需预热、瞬间启动的特点,使其在短短一秒钟内便能开始控制真空镀膜过程系统的流量,实时测量显示体积流量、压力和温度参数、质量流量等。
 
  浅谈质量流量控制器出现流量偏差的排查方法;
 
  1、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力。如果质量流量控制器的压力不够会出现达不到标定量程;
 
  2、0点是否有漂移。先需接通电源,在信号为0的情况下,则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号;
 
  3、气体是否纯净。如果盘路有污染,那么流量肯定会受到影响,这个时候可以用高纯N2多次清扫,如果还是不能解决则需要找维修中心进行维护。

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