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质量流量控制器实现稳定的流量控制

2021-10-26 15:04:38
本文关键字:质量流量控制器

  质量流量控制器外壳由金属制成,可高度配置。可长期稳定性和可重复的测量和控制质量流量,具有优异的精度、宽动态范围、数字和模拟接口、灵活机械连接选项、多气体配置等等特点,还可覆盖宽动态测量范围。

  质量流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件,测量50 sccm到200 slm的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外,流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。

  质量流量控制器依赖创新的CMOSens技术,与所有传感器产品一样,在一个CMOS硅芯片上集成了模拟和数字处理电路及高精度传感器元件,可保证优异的性能。配合优质材料,可实现稳定、快速和高度精确的流量控制。同时其通用性使之成为了工业和医疗应用的合适的解决方案,由此可以在医疗行业中得到较广的应用。比如可在这些场所中应用:分析仪器如气相色谱、质谱、热分析;工业过程自动化如涂覆、热处理;半导体行业如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积;医疗器械如呼吸机、麻醉机。



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