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质量流量控制器可重复性测量和控制质量流量

2022-07-06 12:14:54
本文关键字:质量流量控制器

质量流量控制器具有较为优的性能,可以实现较快、高精度和长期稳定的流量控制。其可以使用在不同的流体连接件和电气接口,可测量50 sccm到200 slm的流量。同时仪表以高精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量,可覆盖宽动态测量范围。

质量流量控制器外壳由金属制成,可进行配置。其采用CMOS硅芯片,在这个芯片上集成了模拟和数字处理电路及高精度传感器元件,由此具有较高的性能,同时传感器信号可在芯片上直接转换成经温度补偿和100%校准的数字信号,然后进行传输。同时多气体校准可存储在单个器件上。仪表还具有通用性,使其可以在医疗和工业中使用,还能为其提供合适的解决方案。


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