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质量流量控制器采用热式原理可实现控制

2021-08-27 07:54:30
本文关键字:质量流量控制器

  质量流量控制器在宽动态范围控制气体流量。质量流量控制器主要是热式微传感器,芯片上集成了完整的信号处理电路。流量测量采用热式原理,由模拟控制电路实现控制。这种集成设计以有吸引力的成本实现性能和稳定性。
 
  质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中,并用于石油化工、冶金、制药等。
 
  质量流量控制器含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。具有重复性好,压损小,无可动部件,星程比宽,响应时间较快,测量精度高,不需要温度压万补偿等特点,可应用于轻工、化工及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

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