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质量流量控制器可实现流量的自动控制

2021-08-31 08:17:57
本文关键字:质量流量控制器

  质量流量控制器不但具有质量流量计的功能,重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
 
  质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样容易实现对流量的计算机管理、累积流量自动计量、数字显示、数据自动记录等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。质量流量控制器能方便地与计算机连接,进行自动控制。质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等有用。
 
  质量流量控制器具有精度高,重复性好的特点,可用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。其中包含扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于冶金、石油化工、制药等。

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