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质量流量控制器常见故障介绍(二)

2021-09-10 07:44:44
本文关键字:质量流量控制器

  质量流量控制器可用于对各种气体的质量流量进行控制和准确测量,它大量用于电子工艺设备中,如等离子刻蚀、扩散、溅射、外延、氧化、CVD等,以及光导纤维、镀膜设备制造设备中,并广泛用于冶金、制药、石油化工等行业。
 
  质量流量控制器是采用感热式测量,通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量,因为是用感热式测量,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。质量流量控制器可以通过模拟电流、模拟电压,或者PLC、计算机提供设定值。
 
  质量流量控制器常见故障介绍

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